摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,公开了一种半导体功率模块及其封装方法。该方法包括:步骤S1:提供基板以及至少一个功率芯片;步骤S2:当功率芯片的上表面和/或下表面不存在预设金属化层时,在功率芯片的上表面预置第一金属化层和/或在功率芯片的下表面预置第二金属化层;步骤S3:对基板表面进行活性化镀层处理和/或平坦化处理,形成活性化镀层和/或平坦化表面;步骤S4:将功率芯片置于基板上,通过热压烧结工艺完成基板和功率芯片的互联;步骤S5:使用连接键连接功率芯片与基板,得到互联结构;步骤S6:对互联结构进行封装处理和端子成型,得到半导体功率模块。通过上述方式,本发明能够节约成本及降低工艺风险,提高半导体功率模块的可靠性。
技术关键词
半导体功率模块
功率芯片
金属化
封装方法
烧结工艺
镀层
陶瓷覆铜基板
阵列结构
微沟槽
半导体封装技术
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