一种用于化学机械研磨晶圆的参数确定方法及系统

本发明提供了一种用于化学机械研磨晶圆的参数确定方法及系统，该方法包括：获取特征参数以及参数范围，设定优化步长，根据优化步长和参数范围构建特征参数搜索矩阵；构建改进的贝叶斯模型，从特征参数搜索矩阵中随机生成第一预设数量组的特征参数集；进行CMP工艺验证，并将验证结果与特征参数集进行关联；若改进的贝叶斯模型输出的是新的特征参数集，则重复生成，直至改进的贝叶斯模型未输出新的特征参数集；从最新迭代验证的第一预设组的特征参数集中筛选出目标参数集，目标参数集包括所有特征参数以及与每种特征参数对应的目标值。本发明能够实现晶圆研磨参数的快速确定，且得到的研磨参数能够确保晶圆表面形貌质量和器件良率。