摘要
本发明涉及一种可保持动态真空的变温杜瓦系统及其组装方法,变温杜瓦系统包括杜瓦主体、排气机构、制冷机和密封机构,通过杜瓦主体与窗口组件的密封连接实现了真空密闭空间的构建,制冷组件与壳体的集成,确保了红外探测器芯片的性能测试环境的稳定性,通过排气机构与窗口组件的管路连通实现动态真空环境的建立与维持,使得系统内部能够持续保持高真空状态,并配合密封机构的多点密封,实现对杜瓦系统各连接处的可靠密封,保证系统在长期运行过程中的气密性,另外,通过制冷机与制冷组件配合实现精确温控,使红外探测器芯片能够在预设温度下稳定工作,通过各功能模块的协同配合实现了红外探测器芯片的高精度性能测试。
技术关键词
红外探测器芯片
杜瓦
真空挡板阀
制冷组件
密封组件
排气机构
密封机构
制冷机
组装方法
性能测试环境
壳体
支撑件
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