耦合质量与原位红外光谱的有机材料多维度热分析方法

本发明涉及一种耦合质量与原位红外光谱的有机材料多维度热分析方法，包括：通过具有自加热功能的悬臂梁MEMS器件实时检测升温过程中频率变化，得到热处理过程中的样品质量变化曲线；同时通过金刚石窗口聚焦红外光束至待测样品表面，以采集升温过程中待测样品的反射红外光谱，实时提取待测样品的结构变化信息。本发明实现了对有机材料热分解过程的全方位表征，具有实时原位分析能力、高灵敏度与选择性、热行为与化学成分的同步关联等核心优势。