摘要
本申请提供的一种多芯片互联结构和多芯片互联方法,涉及半导体封装技术领域。该多芯片互联结构包括第一模组、第二模组和第一柱体,第一模组包括第一衬底和第一芯片;第一芯片电连接第一衬底。第二模组包括第二衬底和第二芯片;第二芯片电连接第二衬底。第一衬底和第二衬底相对设置;第一芯片和第二芯片相对设置。第一柱体的一端连接于第一芯片,另一端连接于第二芯片。第一芯片和/或第二芯片彼此相对的一侧设有感应区;第一芯片和第二芯片之间设有导电胶,感应区用于检测导电胶的覆盖位置,避免线路短路,提高多芯片互联的可靠性和有效性。
技术关键词
芯片互联结构
衬底
柱体
导电胶
多芯片
互联方法
倒装芯片
模组
绝缘胶
金属环
半导体封装技术
焊盘
导热胶
导电柱
错位
焊球
有效性
静电
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机载高光谱
柱体
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衬底晶圆
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压合设备
不锈钢
芯片