摘要
本发明提供的衬底布线封装方法、衬底布线封装结构和衬底布线封装载板,该方法首先提供一表面溅射有导热金属层的玻璃衬底,然后在导热金属层上旋涂形成粘接层,再在粘接层上形成重构布线组合层。再利用白光照射导热金属层,使得粘接层受热后失去粘性并剥离该玻璃衬底。然后通过清洗去除粘接层,最后切割单颗产品。相较于现有技术,本发明实施例的导热柱能够更好地在照射时实现热传导,从而在导热金属层过温后实现对其散热,结合低温白光照射,避免热量过度传导至粘接层而对重构晶圆产生热效应。并且,由于导热金属层与玻璃衬底一并剥离,因此无需后续进行蚀刻去除,避免了蚀刻工艺影响重构布线结构。
技术关键词
重布线层
衬底
封装方法
封装载板
导热柱
芯片
重构
封装结构
玻璃
白光
布线结构
焊球
蚀刻工艺
正面
晶圆
导电块
热传导
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