超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备

本申请涉及超声传感器领域，提供一种超声传感器及其制备方法、超声波指纹模组以及电子设备，至少有利于提高超声传感器的性能。制备方法包括：在衬底上形成底电极层；在底电极层上形成压电层；在压电层上形成顶电极，顶电极层的制备步骤包括：对压电层表面处理，以使压电层的表面具有亲水性；对压电层进行硅烷化处理，以形成自组装分子层；将进行硅烷化处理后的衬底浸泡在预聚溶液中，以使自组装分子层与预聚溶液中的单体聚合后形成粘附层；在粘附层上形成催化剂层；将具有催化剂层的衬底放入化学镀槽中，以使催化剂层中的催化剂催化化学镀槽中的金属离子形成金属层，粘附层与金属层构成顶电极层；在顶电极层上形成保护层。