摘要
本发明涉及半导体器件技术领域,尤其是指一种芯片装片机,包括装片机主体,所述装片机主体的上方转动设置有承载盘,所述承载盘的上端面放置有呈圆周阵列设计的基板,所述装片机主体的上方转动设置有送料盘,所述送料盘的上端面设置有多组DAF芯片膜,所述装片机主体的上方转动设置有L型支架,所述L型支架的底端安装有电动伸缩柱,所述电动伸缩柱的伸缩端安装有真空吸盘;使得基板和真空吸盘位于同一竖直面上,从而方便DAF芯片膜完全压入基板内部,避免现有技术中可能存在DAF芯片膜与基板偏斜导致两者难以结合的问题,而且在承载盘的转动下,能持续性对基板和DAF芯片膜进行装片,操作较为方便快捷。
技术关键词
芯片装片机
DAF芯片
L型支架
真空吸盘
基板
触点
半导体器件技术
送料盘
承载盘
伸缩柱
框架
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阵列
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