电流传感芯片及制造方法

本发明提供一种电流传感芯片及制造方法，涉及传感芯片技术领域。所电流传感芯片的磁芯、线圈以及载流导体基于微机电系统工艺形成在同一半导体衬底上，磁芯由软磁材料组成的独立磁芯或复合结构磁芯，载流导体设置在靠近磁芯的区域中；线圈包括至少一组激励线圈以及至少一组感应线圈，激励线圈和感应线圈均缠绕在磁芯上，激励线圈和感应线圈均可复用为反馈线圈；载流导体在连接待测电流时，待测电流在载流导体周围产生的磁场作用于磁芯上引起磁通量变化，通过检测感应线圈或反馈线圈的输出信号实现对待测电流的测量。本发明能够提高抗干扰能力，还可以实现芯片级闭环电流检测，检测精度高、范围宽，且显著缩减传感器的体积和制造成本。