基于柔性光栅膜的高精度视触觉传感器及其制造方法

本发明公开了一种基于柔性光栅膜的高精度视触觉传感器及其制造方法，基于柔性光栅膜的高精度视触觉传感器包括：传感器主体，传感器主体内设有光路腔；柔性光栅膜，柔性光栅膜设在传感器主体上且从传感器主体的外表面露出，柔性光栅膜上形成有闪耀光栅，柔性光栅膜构造为适于在外力作用下发生弹性形变且在发生形变后衍射产生的结构色发生变化；发光件，发光件设在传感器主体上，发光件适于照射柔性光栅膜；图像采集装置，图像采集装置设在传感器主体上，图像采集装置适于采集柔性光栅膜的结构色图像。根据本发明实施例的基于柔性光栅膜的高精度视触觉传感器具有测量和定位精度高、灵敏度高、动态性能好、适应性强、抗干扰能力强等优点。