一种提高出光效率的图形化衬底及其制备方法

本发明公开了一种提高出光效率的图形化衬底及制备方法，该图形化衬底包括衬底层以及在衬底层表面形成的凸起部；各凸起部的顶部中心点与衬底层的垂直距离为凸起部的高度，所述凸起部在衬底层按照高度由中心到边缘逐步增加的方式排列形成阵列，图形化衬底整体呈现下凹的平滑曲面。本发明图形化衬底可增加光散射路径多样性，同时降低外延层横向电阻差异，提高LED芯片的出光效率。