一种具有Ag反射镜的Micro-LED微显示芯片及其制备方法

本发明公开了一种具有Ag反射镜的Micro‑LED微显示芯片及其制备方法，本发明的技术方案能有效抑制金属银（Ag）的迁移、氧化、球聚，显著提升Micro‑LED微显示芯片的亮度和可靠性。本发明的Micro‑LED微显示芯片包括：外延层，外延层上设有Micro‑LED像素阵列；Micro‑LED像素阵列单元之间的隔离槽内设有填充隔离槽的钝化层，钝化层的表面凸出于Micro‑LED像素阵列单元的表面，Micro‑LED像素阵列单元与相邻的钝化层之间形成凹槽；在Micro‑LED像素阵列单元上的凹槽内设有Ag反射镜；第一键合金属层，设于Ag反射镜上；Ag反射镜在Micro‑LED像素阵列单元上被第一键合金属层和钝化层完全包覆；驱动芯片；第二键合金属层，设于驱动芯片上；驱动芯片与外延层通过第一键合金属层和第二键合金属层键合形成电互联。