晶圆加工用超材料构型线驱动欠驱动超冗余软体机器人

本发明公开了一种晶圆加工用超材料构型线驱动欠驱动超冗余软体机器人。该超冗余软体机器人的机械臂包括多段结构和线传动组件：多段结构包括第一支撑段、摆动段和第二支撑段；控制单元与驱动单元控制连接，驱动单元与第一支撑段的一端固接，第一支撑段的另一端与摆动段的一端活动连接，摆动段的另一端与第二支撑段的一端活动连接，第二支撑段的另一端与软体抓手固接；线传动组件设置在多段结构上，实现对多段结构的动力传递。本发明采用分布式驱动架构与拉线传力设计，将动力源后置，使得机械臂本体细长轻巧能够实现高灵活性。通过超冗余关节与拉线传力结构的结合，使机械臂在有限的驱动源条件下能够实现自适应运动，显著提升了机器人的操作能力。