一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法

本发明公开了一种晶圆背面接触式定位与夹持固定装置及晶圆键合方法，包括键合腔室、下吸盘、上压盘、控制器、压紧驱动机构、定位压杆、夹持驱动机构以及柔性夹爪，定位压杆的下端部可与下吸盘的上端壁抵接，夹持驱动机构上下滑动地设置于下吸盘的两侧，柔性夹爪与夹持驱动机构连接，通过夹持驱动机构驱动柔性夹爪沿下吸盘的径向方向滑动，柔性夹爪用于夹持固定晶圆，柔性夹爪的内周壁可与晶圆的外周壁抵接，限位块可与晶圆的边缘的下端壁抵接，压紧驱动机构和夹持驱动机构分别与控制器电连接。本发明的技术方案能够避免晶圆表面污染与损伤，可有效提升晶圆键合工艺的稳定性，减少废品率，节约成本，具有较高的市场应用推广价值。