摘要
本发明涉及芯片加工设备技术领域,提供一种芯片压力烧结炉,包括液压组件、升降机构、治具框、下腔体组件和上腔体组件;所述下腔体组件设置在所述液压组件的底板上,所述上腔体组件设置在所述液压组件的中板上,所述上腔体组件和所述下腔体组件形成真空腔体,所述升降机构设置在所述下腔体组件的下方,所述治具框设置在所述下压头上并且设置在所述升降机构上部,所述升降机构对所述治具框升降。
技术关键词
腔体组件
压力烧结炉
液压组件
冷却板组件
升降机构
立柱头
升降立柱
芯片
升降驱动机构
真空腔体
位移传感器
上板
框架
导向柱
抽真空机构
压力传感器
限位机构
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