一种具有复检功能的光栅尺用检测装置及方法

本发明公开了一种具有复检功能的光栅尺用检测装置及方法，涉及光栅尺检测技术领域，该具有复检功能的光栅尺用检测装置包括精密平台，所述精密平台上安装有大理石基座，所述大理石基座顶部开设有条形槽，所述条形槽内安装有LED背光源，所述LED背光源两端均安装有光源安装限位块，所述条形槽内安装有光栅尺支撑块，所述大理石基座上安装有高精密直线电机运动平台，所述高精密直线电机运动平台上安装有相机检测组件和光电检测组件，所述精密平台上安装有机械臂，所述机械臂末端安装有复检相机和检测镜头，当光栅尺需要检测时LED背光源打开，同时高精密直线电机运动平台带动光电检测组件和相机检测组件运行，随后机械臂带动复检相机上的检测镜头运行。