一种镀膜机镀膜质量的检测方法及系统

本发明公开了一种镀膜机镀膜质量的检测方法及系统，涉及工业自动化与智能检测技术领域，采集并预处理光谱反射率数据和膜层厚度振荡频率数据，提取出镀膜质量特征，构建质量分类模型和厚度预测模型，输出镀膜质量分类结果、质量置信度、厚度预测值与预测误差区间，进而进行分类判定与厚度判定，并制定相应的补偿机制，同时，获取实时风险指数，同步进行分级预警与时空关联预警，设计三维可视化看板整合关键指标。本发明通过多模态数据融合与智能算法协同分析，实现了镀膜质量的在线实时检测与动态调控，在确保高精度光学性能和厚度均匀性的同时，显著提升缺陷识别灵敏度和工艺异常响应效率，有效优化生产良率并保障镀膜工艺的稳定性和可控性。