摘要
本申请公开了一种籽晶贴片机,属于籽晶贴片技术领域。所述籽晶贴片机通过多个功能部件、取片机械臂、晶片贴片部件和石墨纸搬运机械臂的配合作用下,实现了对碳化硅籽晶的贴片操作,无需人工操作,极大地降低了工人的劳动强度,减少了人力的消耗,并且大大提高了贴片效率与贴片品质。即自动化程度高,极大提高了工作效率,贴片的精度高,极大提升了产品质量。另外,石墨纸载料盒可以装载多片石墨纸供使用,避免了频繁打开籽晶贴片机的柜门造成内部清洁度降低的不良现象。
技术关键词
驱动部件
石墨纸
贴片机
搬运机械臂
检测光电传感器
真空吸盘
贴片部件
烘烤部件
夹持晶片
工位台
转接件
载台
贴合机构
碳化硅籽晶
夹紧件
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翻转接料机构
翻转组件
IC芯片
接料组件
贴片机
管道机器人
激光清洗头
文丘里喷射器
导气环
涂油机构
工业机器人
旋转关节
编码器机构
转台机构
脉冲调制器
起重机起升机构
故障诊断装置
监测单元
支撑外壳
非接触式