基于紧凑键合的耦合外腔窄线宽垂直腔面发射激光器

本发明涉及垂直腔面发射激光器技术领域，公开了一种基于紧凑键合的耦合外腔窄线宽垂直腔面发射激光器，包括：底部衬底以及在底部衬底上生长的n型DBR反射镜；位于n型DBR反射镜远离底部衬底的表面，且依次排列的腔长扩展层、有源区、p型光学限制层与氧化层、p型DBR反射镜、键合中间层、外腔反馈结构、激光输出面；外腔反馈结构包括光学间隔层和反馈镜，通过键合中间层以键合方式附着于p型DBR反射镜上表面，在键合前预制于独立芯片或薄膜片上。本发明通过将外腔模块直接键合至主腔VCSEL表面，构建集成化复合谐振腔系统，在不牺牲芯片尺寸和工艺兼容性的前提下，实现激光器线宽的深度压缩，并具备良好的单模特性、波长调谐能力与系统集成适应性。