摘要
本发明涉及清洗装置技术领域,尤其涉及一种晶圆盒盖模具用清洗装置,包括安装座、导向柱、第一双向气缸、上模与下模型腔,所述安装座下端对称开设有向下倾斜的排出口,所述安装座下端开设有安装腔,所述安装腔中固定安装有电机,所述电机输出端固定连接有位于所述安装腔中的第二双向气缸,所述第二双向气缸输出端固定连接有顶出杆,所述顶出杆顶端安装有压力传感区。本发明通过在顶出杆上设置压力传感区,实时检测每次顶出操作时所承受的压力,基于检测到的压力变化,生成清洗触发信号并执行清洗作业,以避免成型残留物累积过多并迁移至成型制品表面,从而提高成型制品的良品率。
技术关键词
盒盖模具
双向气缸
安装座
晶圆
电磁铁
下模型腔
楔形块
排水口
密封板
成型制品
刮板
三角形结构
滑动套装
受力
矩形
推杆
倾斜坡面
传感
导向柱
输出端
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