一种低介电聚酰亚胺复合薄膜瑕疵检测设备及其检测方法

本发明涉及复合薄膜瑕疵检测设备技术领域，具体公开了一种低介电聚酰亚胺复合薄膜瑕疵检测设备及其检测方法，包括机架，所述机架的顶端固定连接有装配架，所述装配架的一侧转动连接有第一引导辊，所述装配架位于第一引导辊的下侧转动连接有第二引导辊，所述装配架位于第一引导辊和第二引导辊的一侧固定连接有离子风棒，所述装配架位于离子风棒的一侧设有第一清灰机构，所述装配架位于第一清灰机构的一侧设有第二清灰机构，所述装配架远离第二清灰机构的一侧设有第一张紧辊，通过多级清灰单元的协同作用，提升了低介电聚酰亚胺复合薄膜表面的清灰效果，有效避免了残留灰尘对检测准确性的干扰。