一种加速DMD数字光刻成像仿真的方法、装置、设备及介质

本申请提供一种加速DMD数字光刻成像仿真的方法、装置、设备及介质，涉及数字光刻技术领域。方法包括：基于数字微镜设计文件得到第一微镜阵列图，所述数字微镜设计文件中包括需要仿真的图案；将所述第一微镜阵列图中的每个微镜周期占用的像素数量由第一值减少至第二值，得到简化后的第二微镜阵列图；基于预先建模得到的DMD数字光刻仿真模型对所述第二微镜阵列图进行仿真。可见，本申请在仿真前对数字微镜设计文件进行了简化，每个微镜周期占用的像素数量减少，仿真时可以节省更多的时间，大大提升了DMD数字光刻成像的仿真效率。