一种多特征芯片缺陷检测方法

一种多特征芯片缺陷检测方法，包括：获取包括目标芯片的检测区图像；根据标准芯片图像模板匹配目标芯片的绑定矩形；根据所述绑定矩形，确定目标芯片的位置和边缘，在所述检测区图像上确定多个检测点；连续检测所述检测点，灰度特征提取，对比检测点灰度值与标准芯片图像模板对应点的标准灰度值；颜色特征提取，计算检测点RGB值与标准芯片图像模板对应点的欧氏距离；纹理特征提取，提取检测点邻域的纹理模式，对比标准芯片图像模板纹理差异；计算该检测点的综合差值，若综合差值大于设定的阈值，则判定为偏移点；否则跳过，并重置连续偏移计数。本发明一种多特征芯片缺陷检测方法，通过多参数联合判断，降低了芯片表面缺陷检测中的误判率。