一种全自动多组分配胶动态混合比例闭环控制系统

本发明公开了一种全自动多组分配胶动态混合比例闭环控制系统，本发明涉及半导体制造技术领域，包括多组分进料模块、动态配比执行模块、在线检测模块、智能控制模块、混合反应模块、防污染模块及数据管理模块，本发明的优点在于：通过多组分进料模块的多条独立流道及内壁类金刚石涂层，配合流道入口振动筛与出口电磁阀，实现多形态原料的防粘输送与快速切换，动态配比执行模块采用双计量泵并联结构及双轴流式脉冲阻尼器，结合智能控制模块的非线性模型预测控制器与BP神经网络自适应补偿，最终实现多组分混合比例动态调节精度显著提升，混合均匀性与纯度达标，大幅降低配比误差导致的产品报废，提升光刻胶生产良率与稳定性。