一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统

本发明提供了一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统，涉及惯性器件检测技术领域，该方法通过确定索引路径的测试点位坐标以及多目探针类型，判断是否存在能被测试的待测点位；根据多目探针类型，判定待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点；移动待测点位，判定移动后的待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点，如果存在坏点，跳过移动后的待测点位，并重新确定索引路径的待测点位；如果不存在坏点，给探针台发送移动指令，将多目探针与待测点位以及邻域的多个点位连接，进行驱动端测试和检测端测试。上述方法能够在晶圆级惯性器件的批量测试过程中，进行路径规划，实时规避坏点，提高测试效率，降低测试成本。