摘要
本发明涉及半导体封装技术领域,具体为电磁屏蔽结构制作方法和封装结构,包括:提供设有第一元件的衬底,利用3D打印技术在衬底上形成屏蔽部,所述屏蔽部由柔性电磁屏蔽材料与纳米导电材料复合构成,并设于第一元件的外围;该步骤包括构建三维模型、识别目标位置,并在目标位置预成型屏蔽结构。随后向衬底注入塑封料,形成包封第一元件和屏蔽部的塑封体,并通过交联反应增强两者的结合力。对塑封体进行研磨,使屏蔽部暴露于表面。最后在屏蔽部表面形成金属层,并实现与接地结构的电连接。该方法通过复合材料与结构优化,提高了屏蔽结构的稳定性、抗模流冲击能力和电磁屏蔽效果,增强了整体封装的可靠性与适应性。
技术关键词
电磁屏蔽结构
封装结构
柔性电磁屏蔽材料
纳米导电材料
衬底
三维模型
接地结构
半导体封装技术
元件
导电织物
复合材料
结合力
碳纤维布
金属涂层
隔离结构
纳米铜
包封
屏蔽板
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