一种双共焦显微探测方法及双共焦光学系统

本申请公开了一种双共焦显微探测方法及双共焦光学系统，涉及光学显微探测技术领域。双共焦显微探测方法基于双共焦光学系统进行，双共焦光学系统包括激光共焦模块、高清成像模块，激光共焦模块与高清成像模块同轴设置，双共焦光学系统的显微探测方法包括：利用高清成像模块获取初步图像，确定初步图像的缺陷区域；获取缺陷区域的表面反射率，并判断表面反射率是否大于预设阈值；若是，采用激光共焦模块中的第一针孔单元进行共焦信号采集；若否，采用激光共焦模块中的第二针孔单元进行共焦信号采集；获取缺陷区域的至少一个三维重构图像。本申请的双共焦显微探测方法能够测试表面反射率不同的多种样品，且具有较高的横向分辨率。