一种多石英晶片的目标夹取设备及方法

本发明公开了一种多石英晶片的目标夹取设备及方法，目标夹取设备包括工件放置台、上料机构、目标获取机构、检测台以及远端控制器，目标获取机构由机械臂和工业相机组成，机械臂设于工件放置台上，且机械臂端部设有柔性夹具，工业相机设于机械臂侧壁；本发明中，通过工业相机先对工件放置台上的多个石英晶片进行拍摄，获取在供料盘中多个石英晶片的位姿信息，依据这些信息引导机械臂进行多方向和多角度的移动，并将形状信息传递给柔性夹具，控制柔性夹具变换形状，以便精确地抓取单个石英晶片，本发明通过替换传统的人工拾拣的方式，实现自动化石英晶片的夹取，且通过柔性夹具可以减小石英晶片在夹取过程中的不必要损伤，还大大减小了设备成本。