一种边发射激光器芯片的测试装置及系统

本发明提供了一种边发射激光器芯片的测试装置，包括测试机构、控温机构、温度探测反馈机构、探针加电机构和电控组件；所述控温机构连接于测试机构的下方，所述温度探测反馈机构连接于控温机构下方，所述探针加电机构连接于温度探测反馈机构下方，所述控温机构、温度探测反馈机构、探针加电机构均与所述电控组件电性连接，且所述电控组件与测试机构的通电线路电连接。该发明在传统的芯片测试结构上集成设计控温机构、温度探测反馈机构、探针加电机构，提升芯片自动测试过程中控温和散热能力，提升测试性能的准确性，避免测试过程中温度过高对芯片造成损伤，实现批量测试芯片发热量和均匀性实时测试监控及筛选功能，保证后端良率，降低成本。