一种芯片腐蚀机

本发明提供一种芯片腐蚀机，属于芯片加工设备领域，具体包括外壳，外壳内设置有单元处理腔、过滤单元腔和内排风管道，单元处理腔位于外壳内，用于置放芯片并且使芯片在此空间内进行腐蚀加工；内排风管道位于外壳内且一端与单元处理腔连通；与现有技术相对比，本发明在对芯片进行腐蚀加工的过程中，通过负压抽吸装置工作，使外壳内部形成负压，此时外部空气由外进风开口和单元进风管进入外壳内部，通过外部空气对外壳内的腐蚀性气体进行稀释，然后在将稀释后的腐蚀性气体向外排出，在此过程中，气体由过滤组件经过，过滤组件对气体中的腐蚀性气体进行滤除，从而避免腐蚀性气体排出后对操作人员造成伤害。