一种晶圆盒搬运系统

本发明提供一种晶圆盒搬运系统，包括：晶圆盒，晶圆盒包括拿取块；AMR，AMR包括移动部、载物部、机械臂、夹爪和图像采集单元，载物部包括电控箱和载物台，载物部位于移动部上，机械臂的基座固定于载物部上，夹爪与拿取块匹配设计，夹爪和图像采集单元设置于机械臂的末端，移动部、图像采集单元和机械臂均与电控箱电连接，电控箱驱动和控制移动部移动，电控箱根据图像采集单元采集的夹爪和拿取块的图像，控制机械臂运动，以使夹爪与拿取块对位并拿取晶圆盒。本发明能够通过一个AMR实现对多种晶圆盒的搬运，路径规划和移动场景简单，搬运效率高。