一种氧化镁单晶靶材物理尺寸检测方法

本发明公开了一种氧化镁单晶靶材物理尺寸检测方法，涉及材料检测技术领域，用于解决检测精度不足，光学反射干扰大，形貌数据不完整的问题，通过采集氧化镁单晶靶材的表面数据，分析筛选出尺寸异常工件并标记；对标记工件采集几何特征与光学特性数据，分别分析尺寸偏差程度及光学特性对检测的影响；综合上述因素评估调整等级，等级高则执行二次校正，等级低不处理，等级适中执行初步校正；采集初步校正反馈数据，分析尺寸恢复程度，对恢复度低的工件再次校正，从而降低光学特性带来的检测误差，提升尺寸检测精度与稳定性。