摘要
本发明公开了一种封装方法及其产品,包括以下步骤:在玻璃载片上制作中介层Ⅰ;在中介层Ⅰ上制作TMV结构;将若干个背面供电芯片和其他功能芯片贴装在中介层Ⅰ上;将塑封料Ⅰ完全包裹背面供电芯片和其他功能芯片;制作中介层Ⅱ;先在中介层Ⅱ上贴装若干个其他功能芯片再进行塑封,或者直接进行塑封;将玻璃载片去除,再制作C4金属凸块,再切割成单颗封装体。本发明利用背面供电芯片正反面均可实现电气连接的优势,将背面供电芯片和其他功能芯片整合在一个封装结构内,实现多芯片协同工作,提升功能密度,具有相容性高、集成度高、灵活性高等优势,且芯片正面朝上,对准精度更易控制,Die shift风险更低。
技术关键词
封装方法
多芯片协同工作
硅中介层
封装结构
模塑工艺
包裹
实心铜柱
封装体
玻璃
电气互连
凸块
机械抛光
刻蚀工艺
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