摘要
本发明公开一种多芯集成电磁屏蔽板级封装方法及结构,该方法包括以下步骤:将芯片倒贴在基板载体Ⅰ上;在芯片四周形成电磁波屏蔽层;将芯片和电磁波屏蔽层进行塑封,形成塑封体;在塑封体表面键合基板载体Ⅱ,将基板载体Ⅰ去除;在芯片的垫片面制备金属线路结构;在金属线路结构上制备金属布线结构;在金属布线结构上制备金属结构;将基板载体Ⅱ去除,切成单颗封装体。本发明能布置高密度线路,完成传统封装无法实现的线路设计;能一板封装上百或几百颗大型封装体,可加工超大尺寸的封装体,能够满足越来越高的封装尺寸要求,且制作流程简单,翘曲小,成本低;大型封装体内的芯片四周设置电磁波屏蔽层,可避免芯片受到电磁波干扰,显著提高信号品质。
技术关键词
金属线路结构
金属布线结构
基板载体
电磁波屏蔽层
封装方法
多芯
芯片
金属结构
封装体
超大尺寸
封装结构
金属铝
绝缘材料
高密度
介质
液体
信号
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