摘要
本申请涉及高先进芯片封装技术领域,尤其涉及一种IGBT芯片封装方法及IGBT芯片封装模块。IGBT芯片封装方法,包括:a、提供至少一IGBT芯片;b、提供临时载体,且在临时载体上形成至少一层布线层;c、将至少一IGBT芯片设置于布线层上后封装以形成封装体;d、移除临时载体以暴露出封装体背离IGBT芯片一侧的连接面,并在连接面上形成连接层;e、将移除临时载体后的封装体切割成多个封装单体,并将封装单体通过连接层集成于预设的基板上。本申请不仅能够有效提高IGBT模块的电气性能和可靠性,还能够显著改善散热管理效果,且最终IGBT封装模块的性能、可靠性和功率密度可以得到显著提高。
技术关键词
IGBT芯片
芯片封装方法
封装体
多层布线层
芯片封装模块
干膜光刻胶
IGBT封装模块
载体
单体
绝缘金属基板
芯片封装技术
IGBT模块
金属散热
光刻胶层
重布线
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