基于NV色心的芯片稳定性检测装置和检测方法

本发明公开一种基于NV色心的芯片稳定性检测装置，包括激光源、载物位移台、微波源、放置在载物位移台上的具有NV色心的金刚石、信号探测器、信号处理装置，激光源和微波源向所述具有NV色心的金刚石提供激光信号和微波信号，信号探测器用于接收具有NV色心的金刚石发出的荧光信号并发送给信号处理装置，信号处理装置通过分析接收到的荧光信号得到待测磁场的磁场强度，通过载物位移台移动以使得激光源的镜头的焦平面与NV色心的平面在测量时始终重合。本发明还公开一种基于该检测装置的检测方法。本发明通过在测试中增加实时自动校准焦平面功能，有效地提升芯片检测效果的稳定性，节省人力和时间成本。