一种MOCVD喷头主体全激光焊接制造方法

本发明提供了一种MOCVD喷头主体全激光焊接制造方法，包括：按照从上到下的顺序将顶板、垫环和底板进行配对，使顶板的通孔和底板的通孔一一对应；通过激光焊接将顶板与垫环、垫环与底板的连接处进行熔合焊接；将与通孔的数量和尺寸对应的空心管放置于相应通孔内进行装配；空心管的长度为顶板、垫环和底板的厚度总和；通过激光焊接将各空心管和顶板、各空心管和底板的连接处进行批量熔合焊接；激光焊接在同一设备上进行。上述生产工艺中，通过全激光焊接的方式，省去了现有技术中钎焊工艺流程以及后续线切割工序，简化了MOCVD喷头设备生产的工艺，减少了焊接生产用时、降低生产设备的整体成本，提高了MOCVD喷头设备生产的效率。