一种基于扫描电子显微镜的微纳结构三维重建方法和系统

本发明提出了一种基于扫描电子显微镜的微纳结构三维重建方法和系统，属于生物微纳表面结构分析、超精密加工制造等领域。采集待测微纳样品的多视角多探测器的SEM图像，基于运动恢复结构算法进行初始几何估计，以神经场模型作为三维形貌的隐式表示模型，并引入一个可微分的BSE前向模型，通过三阶段训练策略实现重建。本发明以神经场作为三维重建的表示基础，显著提升了对复杂、不连续微结构的重建能力；无需使用标准样品进行参数标定，仅依赖目标样品的一组SEM图像即可完成重建，简化操作流程；具备对图像中阴影区域的鲁棒性，通过训练过程中引入的阴影分离策略，有效降低阴影对表面重建结果的干扰，提高重建的准确性和适用范围。