一种光伏硅片真空吸附上下料机械臂

本发明涉及机械臂技术领域，本发明公开了一种光伏硅片真空吸附上下料机械臂，包括基座及连接在基座上的臂体，所述臂体端部具有气缸轴，所述气缸轴下端安装有吸附部，所述吸附部包括：框体，安装在气缸轴的下端；内盘，安装在框体下端，所述内盘有多片内片相互拼接组成；多组负压产生部，均安装在内盘的上端，在负压的作用下将下端的光伏硅片吸附。本发明采用多组独立负压产生部分散吸附力，通过金属圆盘行程限定，实现对负压的控制，降低脆性材料在抓取过程中的机械损伤风险，在吸附阶段，金属圆盘受到移动限制负压，既保证吸附可靠性，又通过物理限位避免负压过载，从根本上消除传统单点吸附的应力集中问题。