复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法及装置

本发明公开了一种复杂柱面伪剪切干涉检测中的失调像差重构方法及装置，本发明先获取在干涉条纹调零时，干涉仪所测量出的待测柱面镜的第一波前数据，待测柱面镜沿曲率方向移动一次后干涉仪检测出的第二波前数据，以及待测柱面镜沿曲率方向再次移动一次后干涉仪检测出的第三波前数据；而后，利用前述三个波前数据，来得到不含失调像差的二阶差分数据，接着，利用前述二阶差分数据，来生成一阶差分无失调像差波前数据，最后，基于一阶差分无失调像差波前数据，则可得到待测柱面镜沿曲率方向移动产生的失调像差；如此，通过重构出失调像差，可保证重构柱面面形时所使用的差分波前数据的准确性，进而提高了柱面镜面形误差的重构精度。