一种双工位自动输送晶圆筛晶、检测生产工艺及装置

本发明公开了一种双工位自动输送晶圆筛选、检测生产工艺及装置，具体包括步骤一：晶圆上料至工作台；步骤二：华芙盘上料至筛晶工作台；步骤三：检测与补晶；步骤四：码垛；步骤五：束带；步骤六：入盘等工艺步骤，该挑晶检测装盘工艺采用天车双工位上料，C1/C2过渡轨上方安装晶圆翻转机构，在晶圆进入移载平台前实现翻转，翻转前进行扫码录入信息，移载平台实现对双晶圆工作台的分别供料，晶圆进入移载平台进行校正，以顺畅进入晶圆工作台。应用上述工艺，制造出来的生产装置，可以高效的完成挑晶检测生产，达到UPH产能需求。