摘要
本发明公开了一种芯片封装方法及结构,该方法包括以下步骤:在基板上设临时键合层;在临时键合层上设重布线结构;在裸硅上贴装芯片;将芯片与重布线结构键合;去除裸硅;对芯片表面除杂;填充芯片与重布线结构之间的缝隙;形成塑封体;对塑封体进行研磨,露出芯片,去除基板和临时键合层,露出解键合基板面,重新在解键合基板面通过光刻工艺形成金属焊盘;形成导电结构。本发明将裸硅与基板通过Mark标记对准直接整面键合,显著提高贴片精度,确保芯片能够准确地安装在预定位置上,增强封装可靠性;裸硅与基板的直接键合提供更稳定的机械支撑和电气连接,减少芯片在封装过程中可能出现的位移、松动等问题,提高半导体封装的可靠性和稳定性。
技术关键词
芯片封装方法
重布线结构
金属导电结构
光刻工艺
基板
电镀工艺
磁控溅射工艺
芯片封装结构
植球工艺
重布线层
半导体封装
机械支撑
刻蚀工艺
焊盘
缝隙
标记
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