氮化硅陶瓷基液体流道散热器及其制备方法

本申请公开了一种氮化硅陶瓷基液体流道散热器及其制备方法。所述氮化硅陶瓷基液体流道散热器由氮化硅陶瓷材料制备而成，所述氮化硅陶瓷基液体流道散热器具有进液孔、出液孔以及封闭的液冷流道，所述液冷流道的两端分别与所述进液孔、所述出液孔相通。本申请基于高导热氮化硅陶瓷材料制备而成，氮化硅陶瓷材料具有高热导、低热膨胀系数、高强度、高耐腐蚀性和高硬度等特性，采用氮化硅陶瓷材料制作的液体流道散热器能与硅芯片或碳化硅芯片实现良好的热膨胀系数匹配，在与芯片结合时，可以采用烧结银、铅锡银等材料把芯片和散热器焊接在一起，实现优秀的热传导。