基于AI视觉的半导体机械臂自主导航与定位方法

本发明公开了基于AI视觉的半导体机械臂自主导航与定位方法，涉及机械臂技术领域，该方法包括以下具体步骤：视觉感知与多模态信息融合：通过配置的工业、深度、光场和偏振光相机采集多模态数据，对其进行预处理后，利用含特征提取层和融合层的深度学习网络及注意力机制实现信息融合，输出统一视觉描述；本发明通过利用深度学习目标检测模型，引入注意力机制增强对小目标特征的关注和提取能力，并结合偏振光成像识别的表面特征信息优化识别结果，能够精准确定目标物体类别和位置，同时，建立机械臂运动误差模型，利用传感器融合技术将融合后的视觉定位信息与机械臂关节编码器、陀螺仪等传感器数据融合，对定位结果进行优化和补偿。