一种石墨坩埚全流程智能精加工系统及方法

本发明公开了一种石墨坩埚全流程智能精加工系统及方法，涉及石墨坩埚精加工技术领域，多传感器协同检测单元对石墨坩埚的多项尺寸及缺陷参数进行检测，输出尺寸数据和缺陷图谱；智能精加工决策单元将尺寸数据及缺陷图谱输入至缺陷类型判定模块，若判定为氧化层缺陷，启动激光清洗决策器制定氧化层清洗方案；若判定为裂纹或凹坑缺陷，调用材料去除优化器，并生成切削路径和加工参数，转换可识别的机床指令，并提供补偿；利用闭环加工与自检单元，在加工过程中，实时调整加工参数；当加工完成后，进行复检，生成数字质检证书，并贴RFID标签后入库。本发明通过感知‑决策‑执行‑反馈的闭环设计，实现了石墨坩埚精加工的自动化、高精度和可追溯性。