一种射频探针调控用芯片、制备方法及射频探针调控方法

本发明提供了一种射频探针调控用芯片、制备方法及射频探针调控方法，包括：晶圆衬底，以及形成于所述晶圆衬底上的GSG型共面波导CPW结构，包括：CPW信号线，以及位于CPW信号线两侧的CPW地线，CPW信号线与CPW地线平行设置，两个CPW地线与CPW信号线之间电连通后用于与射频探针GSG三个触点接触实现射频探针GSG位置校准；根据GSG三个触点相对一个CPW信号线和两个CPW地线的散射参数判断GSG三个触点与射频探针调控用芯片的接触状态，调控GSG三个触点连线与所述射频探针调控用芯片所在平面的夹角θ。本发明能够精确识别探针的不同接触状态，包括完全开路、完全短路以及部分接触等情况，从而实现探针倾角和接触位置的自动调控。