基于白光干涉的角分辨光谱和面形原位测量装置及方法

本发明公开了一种基于白光干涉的角分辨光谱和面形原位测量装置及方法，本发明的测量装置包括照明模块、显微干涉模块、后焦面图像采集模块以及物面图像采集模块。照明模块发出的白光通过起偏器和中继系统被转化为线偏振光并中继至显微干涉模块的物镜后焦面，形成科勒照明。照明光经显微干涉模块中的分光棱镜分束后，分别由参考镜和待测样品反射并产生干涉，由图像采集模块同步采集物面干涉图和后焦面干涉图，对干涉图进行解析可实现同一视场下样品面形及其对应角分辨光谱的原位测量。本发明对于表征晶圆的光学参数、光子晶体、超表面等微纳光学器件的面形、动量空间色散关系、以及动量空间相位分布等关键参数具有重要的意义。