摘要
本发明涉及一种AI‑DSP混合音频处理芯片的堆叠封装方法及系统,包括以下步骤,采用第一键合机对AI芯片和DSP芯片进行倒装焊,得到倒装焊芯片;对所述倒装焊芯片进行互连,得到互连芯片结构;对所述互连芯片结构进行垂直堆叠,得到堆叠芯片结构;采用第二键合机对所述堆叠芯片结构进行封装,得到封装体;通过预设的散热衬底对所述封装体进行散热处理,得到封装好的AI‑DSP混合音频处理芯片,解决了传统的封装方案AI芯片与DSP芯片通常采用不同的工艺节点和制造流程,直接集成时存在热膨胀系数不匹配、应力分布不均的技术问题。
技术关键词
堆叠芯片结构
堆叠封装方法
倒装焊芯片
封装体
散热衬底
键合结构
树脂封装结构
音频
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