摘要
本发明提供一种级联封装结构及其封装方法,通过于高压D Mode HEMT芯片内部或者封装体内形成金属连接柱,将HEMT芯片的源极引至芯片背面,且将HEMT芯片和低压MOS芯片直接设置于金属框架上,以使得HEMT芯片的源极以及MOS芯片的漏极直接通过金属框架电性连接,解决了现有级联封装器件打线电阻和电感较高,且散热能力不高的问题。
技术关键词
封装结构
金属框架
金属互连层
封装方法
栅极焊盘
级联
封装体
源极焊盘
芯片封装
金属材料
层暴露
封装器件
正面
通孔
电感
低压
电阻
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