摘要
本发明提供一种GaN自发光透镜Micro‑LED及其制备方法,通过将自发光半导体层的结构设置成有聚光效果的微透镜或类微透镜结构,且自发光半导体层整体被半导体钝化层包覆,半导体钝化层上对应于N型半导体层的位置处开设有钝化层通孔,半导体钝化层的表面沉积有电流扩展层,电流扩展层通过钝化层通孔与N型半导体层接触,具体的,将发光的有源层整体纳入微透镜中,形成材料‑光电‑光学三功能同质集成,在提高光子逃逸概率的同时,彻底消除了异质界面导致的热失配问题。
技术关键词
驱动基板
图形化光刻胶
电流扩展层
电极金属层
透镜结构
有源半导体层
芯片
外延片
正性光刻胶
掩膜
通孔
三功能
层叠
聚光
系统为您推荐了相关专利信息
黏度传感器芯片
悬臂
单晶硅基底
氮化铝压电薄膜
悬空结构
驱动基板
键合方法
多层感知机
LED芯片衬底
模组
微型发光单元
发光芯片
电流扩展层
锯齿状结构
插接槽